测量精度高 灵敏度高 集成温度补偿，漂移小 体积小，响应速度快 可以测量微小的气体容量 高性价比 TO8封装，抗冲击能力强 详细介绍： 1. zui大限值 zui小 典型 zui大 单位 热功率P（Rm1+Rm2）： — — 30 mW 测量温度Tm — — 180 °C 环境温度 -20 — +85 °C 气体压力（1） — — 200 bar 2. 参数说明： zui小 典型 zui大 单位 电阻，Rm1，Rm2（Tm=25°C） 92 100 115 Ω 电阻，Rt1，Rt2 220 240 275 Ω 商，Rtx / ( Rm1+Rm2 )，x∈{1,2} 1.13 1.2 1.27 1 阻抗差，Rm1 - Rm2 -2.0 — +2.0 Ω α=温度系数，( Rm, Rt ) | 20 - 100°C 4.8（2） 5.5 5.9 10-3•K-1 G =几何系数（3） — 3.6 — mm τm =膜的热时间常数 — <5 — ms τdiffusion =气体交换的时间常数 — <100 — ms 漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2} — 0.001 0.01 %/week 散射结构的体积 — 0.2 — mm3 保持干净的周围环境空间大小 — 100 — mm3 基础材料 硅,采用蚀刻技术获得微观结构 尺寸结构: 包括底座 不包括底座 3mm × 3mm × 1mm 13mm Ø × 15.4mm 暴露在空气中的材料 Si, SiOxNy, 金, 环氧材料 上海维逸机电设备有限公司 地址：上海市闸北区大统路988号北区商务大厦A座901室 电话：021-61532886 56740816 传真：021-56753727 网站：www.novachn.com