(1)径向(90°)测量光学笔。
(2)zui大倾斜角度只适用于镜子似的(像镜子)表面。对于漫反射表面,zui大倾斜角比较高(zui大漫反射角度达87°)。
(3)以100Hz的频率在镜面上测量,不进行平均计算。
(4)轴向分辨率的定义是指以zui佳采样速度在中心量程测量静态样品得到的RMS噪声值,不进行平均计算。
(5)精度是指在测量的整个范围内,进行以下几种情况的位移校准时测得的zui大误差值:“LED自动调节”模式,zui佳采样速度,倾斜角=0°,平均系数=测量速率/10。
(6)在这种模式下为得到zui佳测试性能,建议在一个标准厚度进行校准。
(7)这些值是用于折射率为1.5的情况(测量空气间隙厚度要除以1.5)。
(8)典型值,是指使用中间量程以zui采样速度测量的值。
(9)R=推荐用于测量粗糙金属样品(这些样品各项性能都能被测量)。
NR=不推荐用于测量粗糙金属样品(这些样品可以测量,但是性能不是很好)。
(10)zui小可测量的精度值取决于样品的规格参数。上表所例的数值是典型值。